真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。

舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡單的真空抽氣系統(tǒng)(如圖1)。

圖1所示的最簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在圖1所示的真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵。

當串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板(如圖2所示)。

根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

凡是由兩個以上真空泵串聯(lián)組成的真空系統(tǒng)，通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱前置泵)，而最高一級的真空泵叫做該真空系統(tǒng)的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路，主泵入口處的閥門稱為主閥。

通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

總體來說，一個較完善的真空系統(tǒng)由下列元件組成：

1、抽氣設備：例如各種真空泵

2、真空閥門；

3、連接管道；

4、真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規(guī)管；

5．其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。

那么，究竟什么是真空系統(tǒng)?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)設計的基本內容：是根據(jù)被抽容器對真空度的要求，選擇適當?shù)恼婵障到y(tǒng)設計方案，進行選、配泵計算；確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，最后劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。 

引用自:真空技術與設備網(wǎng)

*免責聲明：本文引用自空技術與設備網(wǎng)。文章內容系作者個人觀點，轉載僅為了傳達不同觀點交流與提升半導體行業(yè)認知，不代表對該觀點贊同或支持，如轉載涉及版權等問題，請發(fā)送消息至公號后臺與我們聯(lián)系，我們將在第一時間處理，非常感謝！